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            微熱板芯片
            
                    
            
                        首頁-產品中心-微熱板芯片 
                    
            
                
            
            
            
        
            
    
            


            
    
            
        
    
            

            
    
    
            
        
            
            
            
                
            
                    
            
                
            
                
            
                    
            MEMS 微熱板
            
                    
            高一致性、控溫準確、可定制
            
                    
            
	
            
		
            
			
            
				產品特性：
			
            
			
            
				● 集成微型加熱器和叉指電極 
            
● 懸膜式結構 
            
● 面積小，利于集成 
            
● 功耗低 
            
● 可靠性高 
            
● 控溫準確
			
            
		
            
	
            
	
            
		
            
			
            
				應用：
			
            
			
            
				● 各種 MEMS 氣體傳感器 
            
● 實驗設備
			
            
		
            
	
            

            
                   
                
            
            
            
        
            
    
            
    
            
        
            
            
            
                
            技術參數表
            
                
            
	
            
		
			
            
				
					參數
				
				
					特性
				
				
					單位
				
			
            
			
            
				
					尺寸
				
				
					1.0*1.0*0.3
				
				
					mm
				
			
            
			
            
				
					加熱絲材料
				
				
					鉑
				
				
					 
				
			
            
			
            
				
					冷態阻值
				
				
					85±10
				
				
					Ω
				
			
            
			
            
				
					熱響應時間
				
				
					＜10
				
				
					ms
				
			
            
			
            
				
					工作電壓
				
				
					<4
				
				
					V
				
			
            
		            
	
            

            
            
            
        
            
    
            

    




            
    
            
        
        
            
    
            

            

 



            
    

            



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